徠卡高真空鍍膜儀

在電子顯微鏡領(lǐng)域，往往需要對樣品進(jìn)行表面鍍膜從而使樣品表面成像或圖像質(zhì)量得到改善。在樣品表面覆蓋一層導(dǎo)電的金屬薄膜可以消除荷電效應(yīng)，降低電子束對樣品的熱損傷，并可以提高SEM對樣品進(jìn)行形貌觀察時所需的二次電子信號量。精細(xì)的碳膜具有電子束透明且導(dǎo)電的特性，因而常應(yīng)用于X射線微區(qū)元素分析，制備網(wǎng)格支持膜，以及制備適宜于TEM觀查的復(fù)型。需要怎樣的鍍膜技術(shù)取決于分辨率和應(yīng)用需求。Leica EM ACE鍍膜儀家族提供在各應(yīng)用領(lǐng)域所需的鍵膜解決方案。

Leica EM ACE600 是一款多功能型高真空鍍膜系統(tǒng)，用于制備超薄，細(xì)顆粒的導(dǎo)電金屬膜和碳膜，以適用于FE-SEM和TEM超高分辨率分析所需的鍍膜要求。這一款全自動臺式鍍膜儀，包含內(nèi)置式無油真空系統(tǒng)、石英膜厚監(jiān)控系統(tǒng)和馬達(dá)驅(qū)動樣品臺（旋轉(zhuǎn)為標(biāo)配，傾斜和高度馬達(dá)驅(qū)動為選配）。

徠卡高真空鍍膜儀可以配置如下鍍膜方式:

★★★ 金屬濺射鍍膜

★★★ 碳絲蒸發(fā)鍍膜

★★★ 碳棒蒸發(fā)鍍膜（帶有熱阻蒸發(fā)鍍膜選配件）

★★★ 電子束蒸發(fā)鍍膜

★★★ 輝光放電

★★★ 連接VCT樣品交換倉：

        與徠卡EM VCT配套實(shí)現(xiàn)冷凍鍍膜，冷凍斷裂，雙復(fù)型，冷凍干燥和真空冷凍傳輸